Вы используете устаревший браузер.
Чтобы использовать все возможности сайта, загрузите и установите один из этих браузеров:
Google ChromeOperaSafariMozilla FirefoxInternet explorer 8Internet explorer 9

ВНИМАНИЕ!

Новый адрес редакций журналов Колодезный пер., 2 А.

ООО «Издательство «Инновационное машиностроение»

КНИГИ Прайс-лист
ЖУРНАЛЫ Прайс-лист

Книги и журналы, просмотренные ранее

    Все статьи автора в журнале: Швалев Н.А

    1. Контроль параметров тонких пленок, защитных покрытий и технологического процесса их нанесения в вакууме

      Номер: 2006 / 06

      Швалев Н.А. | SHvalev N.A. | Паутов И.Ю. | Pautov I.YU. | Ломанов А.Н. | Lomanov A.N. | Истомин А.С. | Istomin A.S. | Семёнова С.Э. | Semёnova S.E. | Гусаров А.В.Gusarov A.V.

      Авторы статьи
      Authors

      Швалев Н.А.
      SHvalev N.A.

      Паутов И.Ю.
      Pautov I.YU.

      Ломанов А.Н.
      Lomanov A.N.

      Истомин А.С.
      Istomin A.S.

      Семёнова С.Э.
      Semёnova S.E.

      Гусаров А.В.
      Gusarov A.V.


      Контроль параметров тонких пленок, защитных покрытий и технологического процесса их нанесения в вакууме

      Предложены методы и приборы автоматического контроля параметров тонких пленок и защитных покрытий, а также стабилизации технологического процесса их нанесения при термовакуумном, в частности, электронно-лучевом испарении. Описаны вибрационные и камертонный измерители толщины жаростойких и теплозащитных покрытий, фотометрические измерители толщины и скорости нанесения (или травления) диэлектрических и полупроводниковых пленок, измеритель сопротивления и скорости нанесения резистивных пленок. Представлены методы и устройства для защиты электронно-лучевых установок нанесения покрытий от повреждения электронным лучом, а также для определения, стабилизации и визуализации положения электронного луча в тигле установки.



      Ключевые слова

       


      Keywords

    Идет загрузка
    НАЗАД
    Для перехода на предыдущую страницу используйте эту кнопку