Все статьи автора в журнале: Костомаров П.С.

1. Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ- литографического модульного оборудования

   Multicriterial decision making problem in the design of the UV-litography equipment unit

   Номер: 2013 / 04

   Васин В.А. | Vasin V.А. | Ивашов Е.Н. | Ivashov Е.N. | Корпачёв М.Ю. | Korpachёv M.YU. | Костомаров П.С. | Kostomarov P.S. | Степанчиков С.В.Stepanchikov S.V.

   Авторы статьи

   Authors

   Васин В.А.

   Vasin V.А.

   Ивашов Е.Н.

   Ivashov Е.N.

   Корпачёв М.Ю.

   Korpachёv M.YU.

   Костомаров П.С.

   Kostomarov P.S.

   Степанчиков С.В.

   Stepanchikov S.V.

   ---

   Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ- литографического модульного оборудования

   Рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщённого критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы оценки надёжности систем из многофункциональных модулей с произвольным видом компоновки оборудования, задействованного при выполнении технологических операций УФ-литографии
   

   ---

   Ключевые слова

   многокритериальная задача, ультрафиолетовая литография, литографическое оборудование, модульное оборудование, обобщённый критерий оценки качества, надёжность

   Multicriterial decision making problem in the design of the UV-litography equipment unit

   Task of the multicriterion solution when designing of the ultra-violet lithography equipment is considered. This task is solved by the application of the quality valuation generalized criterion, including technical, technological, structural, economic and environmental local criteria by taking into account their weighting coefficients. It is shown that the preferable criteria for designing versions comparing of the considered technology and equipment are reliability and the expected economic effects. The reliability valuation methods of the systems from multifunctional modules with an arbitrary equipment layout involved in the UV-lithography technological operations discharge are proposed

   ---

   Keywords

   multicriterion task, UV-lithography, lithography equipment, modular equipment, generalized quality valuation criterion, reliability