Все статьи автора в журнале: Юленков С.Е.

1. Анализ точности контактного метода измерения площади кристаллов, выращиваемых способом Чохральского

   The accuracy analysis of the contact measuring method of the crystals area grown by the Chokhralski method

   Номер: 2019 / 02

   Саханский С.П. | Sahanskiy S.P. | Юленков С.Е.Yulenkov S.E.

   Авторы статьи

   Authors

   Саханский С.П.

   Sahanskiy S.P.

   Юленков С.Е.

   Yulenkov S.E.

   ---

   Анализ точности контактного метода измерения площади кристаллов, выращиваемых способом Чохральского

   На основе контактного метода измерения рассмотрены основные требования для обеспечения точности измерения площади кристалла, выращиваемого из жидкого расплава по способу Чохральского, на цилиндрической части. В системе управления по координатам перемещения кристалла и тигля обосновано применение фотосчитывающих оптических линеек с дискретностью отсчёта 0,1 мкм. Предложен алгоритм работы установки выращивания кристаллов на основе управления условиями замыкания датчика уровня расплава в тигле, что обеспечивает точность измерения текущей площади кристалла величиной ниже 1 %.

   ---

   Ключевые слова

   выращивание; кристаллы; контактный метод измерения

   The accuracy analysis of the contact measuring method of the crystals area grown by the Chokhralski method

   The basic requirements ensuring the measurement accuracy of a crystal area grown on a cylindrical part from a liquid melt by the Chokhralski method are considered on the grounds of the contact measurement method. In the control system according to the coordinates of moving the crystal and crucible, the application of photo-reading optical lines with a sampling resolution of 0.1 μm in the control system according to the coordinates of moving the crystal and crucible is justified. A work algorithm for the growing crystals installation from a control the sensor closure conditions of the melt level in the crucible, which ensures the accuracy of measuring the current crystal area below 1%, is proposed.

   ---

   Keywords

   growing; crystals; contact measurement method