Все статьи автора в журнале: Исайков А.Н.

1. Осаждение упрочняющих покрытий с помощью универсальных источников ускоренных частиц и металлического пара

   Номер: 2005 / 09

   Мельник Ю.А. | Melnik Y.A. | Исайков А.Н. | Isaykov A.N. | Метель А.С.Metel A.S.

   Авторы статьи

   Authors

   Мельник Ю.А.

   Melnik Y.A.

   Исайков А.Н.

   Isaykov A.N.

   Метель А.С.

   Metel A.S.

   ---

   Осаждение упрочняющих покрытий с помощью универсальных источников ускоренных частиц и металлического пара

   Взамен двух источников металлического пара и ионного пучка для нанесения упрочняющих покрытий с ионным ассистированием используется один универсальный источник широкого электронного пучка мощностью около 10 кВт для предварительного нагрева массивных изделий и пучка нейтральных молекул с энергией » 1 кэВ для предварительной активации поверхности, полностью совмещенных в пространстве с потоком металлического пара, осаждаемого в сопровождении нейтральными молекулами с энергией » 100 эВ. На подложке диаметром 20 см источник с плоской мишенью диаметром 16 см и эмиссионной сеткой диаметром 22 см позволяет осаждать однородные покрытия из Ti, Al, (Ti, Al) и их нитридов со скоростью примерно 10 мкм/ч. Источник с титановой мишенью длиной 33 см, диаметром 6 см и с цилиндрической сеткой диаметром 20 см и высотой 35 см позволяет за 1 ч нанести однородное покрытие из TiN толщиной 2 мкм на внутреннюю поверхность площадью до 4000 см2 цилиндрической подложки диаметром 40 см.

   
   

   ---

   Ключевые слова

    

   ---

   Keywords