Все статьи автора в журнале: Швалев Н.А.

1. Контроль параметров тонких пленок, защитных покрытий и технологического процесса их нанесения в вакууме

   Номер: 2006 / 06

   Швалев Н.А. | SHvalev N.A. | Паутов И.Ю. | Pautov I.YU. | Ломанов А.Н. | Lomanov A.N. | Истомин А.С. | Istomin A.S. | Семёнова С.Э. | Semёnova S.E. | Гусаров А.В.Gusarov A.V.

   Авторы статьи

   Authors

   Швалев Н.А.

   SHvalev N.A.

   Паутов И.Ю.

   Pautov I.YU.

   Ломанов А.Н.

   Lomanov A.N.

   Истомин А.С.

   Istomin A.S.

   Семёнова С.Э.

   Semёnova S.E.

   Гусаров А.В.

   Gusarov A.V.

   ---

   Контроль параметров тонких пленок, защитных покрытий и технологического процесса их нанесения в вакууме

   Предложены методы и приборы автоматического контроля параметров тонких пленок и защитных покрытий, а также стабилизации технологического процесса их нанесения при термовакуумном, в частности, электронно-лучевом испарении. Описаны вибрационные и камертонный измерители толщины жаростойких и теплозащитных покрытий, фотометрические измерители толщины и скорости нанесения (или травления) диэлектрических и полупроводниковых пленок, измеритель сопротивления и скорости нанесения резистивных пленок. Представлены методы и устройства для защиты электронно-лучевых установок нанесения покрытий от повреждения электронным лучом, а также для определения, стабилизации и визуализации положения электронного луча в тигле установки.

   
   

   ---

   Ключевые слова

    

   ---

   Keywords