Все статьи автора в журнале: Якунин С.В.

1. Влияние последовательности имплантации ионов меди и свинца на их распределение в поверхностном слое стали 30ХГСН2А

   Influence of the sequence of implanting the ions of copper and lead on their distribution in the surface layer of steel of 30ХГСН2А

   Номер: 2011 / 12

   Овчинников В.В. | Ovchinnikov V.V. | Якунин С.В. | YAkunin S.V. | Козлов Д.А.Kozlov D.A.

   Авторы статьи

   Authors

   Овчинников В.В.

   Ovchinnikov V.V.

   Якунин С.В.

   YAkunin S.V.

   Козлов Д.А.

   Kozlov D.A.

   ---

   Влияние последовательности имплантации ионов меди и свинца на их распределение в поверхностном слое стали 30ХГСН2А

   Представлены результаты исследования распределения ионов меди и свинца в поверхностном слое стали 30ХГСН2А, модифицированных в условиях высокодозовой имплантации с варьированием последовательности имплантирования ионов. Установлено, что при имплантации ионами меди и свинца наблюдается существенное различие в их распределении в поверхностном слое стали 30ХГСН2А в зависимости от схемы осуществления процесса. Показано, что наибольшая глуби­на проникновения ионов наблюдается при совместном имплантировании указанных ионов с дозой облучения 10¹⁷ ион/см².

   
   

   ---

   Ключевые слова

   ионная имплантация, сорт ионов, доза облучения, интенсивностьионного пучка, сталь, ионы меди и свинца, глубина проникновения ионов, метод вторично-ионной масс-спектрометрии

   Influence of the sequence of implanting the ions of copper and lead on their distribution in the surface layer of steel of 30ХГСН2А

   The results of investigating the distribution of the ions of copper and lead in the surface layer of steel of 30ХГСН2А, modified under the conditions for high(ly)-dose implantation with the variation of the sequence of implanting ions are represented. It is established that with the implantation by the ions ofcopper and lead is observed the essential difference in their distribution in the surface layer of steel of 30ХГСН2А depending on the diagram of the realization of process. The greatest depth of penetration of ions is observed during the joint implanting of the ions with the dose of the implantation of 10¹⁷ ion/sm² indicated is shown.

    

   ---

   Keywords

   ionic implantation, type ofions, radiation dose, intensity ofion beam, steel, ions ofcopper and lead, depth of penetration ofions, method ofsecond ionic mass spectrometry