Все статьи автора в журнале: Болбуков В.П.

1. Осаждение металлических и нитридных покрытий на изделиях сложной геометрической формы

   Deposition of metal and nitride coating on articles of complex geometric shapes

   Номер: 2011 / 12

   Григорьев С.Н. | Grigoriev S.N. | Волосова М.А. | Volosova M.A. | Метель А.С. | Metel A.S. | Мельник Ю.А. | Melnik Y.A. | Болбуков В.П.Bolbukov V.P.

   Авторы статьи

   Authors

   Григорьев С.Н.

   Grigoriev S.N.

   Волосова М.А.

   Volosova M.A.

   Метель А.С.

   Metel A.S.

   Мельник Ю.А.

   Melnik Y.A.

   Болбуков В.П.

   Bolbukov V.P.

   ---

   Осаждение металлических и нитридных покрытий на изделиях сложной геометрической формы

   Показано, что для осаждения покрытий на диэлектрики используется источник атомов металла в смеси с быстры­ми молекулами газа, образованными при перезарядке ускоренных ионов в рабочей камере. Атомы металла образуются при распылении ионами мишени на дне полого катода внутри источника. Нитридные покрытия, непрерывно бомбарди­руемые молекулами с энергией, регулируемой от 10 до 300 эВ, при использовании смеси аргона с азотом осаждаются со скоростью до 4 мкм/ч.

    

   ---

   Ключевые слова

   мишень, распыление, пар, покрытие, осаждение, быстрые молекулы

   Deposition of metal and nitride coating on articles of complex geometric shapes

   For coating deposition on dielectrics is used a source of metal atoms and fast gas molecules produced due to charge exchange collisions of accelerated ions in a processing chamber. The metal atoms are produced due to ion sputtering of a target placed at the bottom of the hollow cathode inside the source. When a mixture of argon and nitrogen is used, nitride coatings are produced with deposition rate up to 4 p/h, the coatings being interruptedly bombarded by molecules with energy ngulatedfrom 10 to 300 eV

   ---

   Keywords

   target, sputtering, vapor, coating, deposition, fast molecules