Издательство
Каталог
Авторам
Рекламодателям
КонтактыВНИМАНИЕ!
Новый адрес редакций журналов Колодезный пер., 2 А.
ООО «Издательство «Инновационное машиностроение»
- КНИГИ Прайс-лист
- ЖУРНАЛЫ Прайс-лист
Книги и журналы, просмотренные ранее
Статьи автора
К последнему номеру журналаВсе статьи автора в журнале: Галкина М.Е.
- Влияние ионного облучения и углеродного покрытия толщиной до 100 нм на микротвердость и трещиностойкость кремнияАвторы статьиAuthorsСуджанская И.В.Sudjanskaya I.V.Галкина М.Е.Galkina M.E.Гончаров И.Ю.Goncharov I.YU.Колпаков А.Я.Kolpakov A.YA.Поплавский А.И.Poplavskiy A.I.Сафронова О.В.Safronova O.V.
Влияние ионного облучения и углеродного покрытия толщиной до 100 нм на микротвердость и трещиностойкость кремния
Азотосодержащие углеродные покрытия толщиной 50 и 100 нм получены на кремниевых подложках импульсным вакуумно-дуговым распылением графитового катода при напуске в вакуумную камеру азота. Исследовано влияние облучения ионами аргона и твердых углеродных покрытий, легированных азотом, толщиной 50 и 100 нм на микротвердость и трещиностойкость кремния. Обнаружены особенности процесса индентирования кремния без углеродного покрытия и с покрытием. Установлено, что повышение дозы ионного облучения кремния ионами аргона до 360 Дж/см2 увеличивает толщину дефектного слоя. Наблюдается корреляционная зависимость микротвердости от максимальной длины трещины. Нанесение углеродного покрытия толщиной 100 нм позволяет повысить микротвердость поверхности кремния и получить ее стабильные значения в диапазоне нагрузок от 0,098 до 0,588 Н. Предложено объяснение полученных экспериментальных результатов.
Ключевые слова
Keywords
- Модифицирование поверхности кремния легированными углеродными покрытиями нанометровой толщиныАвторы статьиAuthorsСафронова О.В.Safronova O.V.Суджанская И.В.Sudjanskaya I.V.Галкина М.Е.Galkina M.E.Колпаков А.Я.Kolpakov A.YA.
Модифицирование поверхности кремния легированными углеродными покрытиями нанометровой толщины
Исследованы трещино- и износостойкость кремния, а также кремния с азотсодержащими углеродными пленками толщиной 10, 25, 50, 100 нм, полученными импульсным вакуумно-дуговым распылением графитового катода при подаче в вакуумную камеру азота. Установлено, что трещиностойкость кремния с легированным углеродным покрытием при нагрузке 0,3…0,4 Н превышает трещиностойкость кремния в 1,5…1,6 раза. Износостойкость кремния с углеродным покрытием увеличивается линейно с ростом толщины покрытия. Углеродное покрытие на кремнии уменьшает коэффициент трения в 5 раз. Предложено объяснение полученных экспериментальных результатов.
Ключевые слова
Keywords
- Влияние угла наклона плазменного потока углерода к подложке и последующего отжига на внутренние напряжения и структуру углеродных наноразмерных покрытий, полученных импульсным вакуумно-дуговым методомInfluence of incidence angle of carbon plasma flow to substrate and subsequent annealing on internal stresses and structure of carbon nanosize coatings obtained by pulsed vacuum arc methodАвторы статьиAuthorsКолпаков А.Я.Kolpakov A.YA.Поплавский А.И.Poplavskiy A.I.Галкина М.Е.Galkina M.E.Суджанская И.В.Sudjanskaya I.V.Мерчанский О.Ю.Merchanskiy O.YU.
Влияние угла наклона плазменного потока углерода к подложке и последующего отжига на внутренние напряжения и структуру углеродных наноразмерных покрытий, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом
Исследованы влияние угла наклона плазменного потока углерода к подложке на внутренние напряжения, возникающие в алмазоподобных углеродных покрытиях, а также динамика их изменения в процессе последующего отжига на воздухе. Установлено, что увеличение угла от 0 до 70 ° позволяет снизить внутренние напряжения более чем в 2 раза. Выявлено, что при отжиге покрытий толщиной менее 100 нм основное значение в снижении внутренних напряжений играет температура, а не время термического воздействия. Установлено, что угол наклона плазменного потока углерода к подложке влияет на соотношения углеродных связей в аморфной матрице покрытия, образованных за счет sp2-иsp3-гибридизации электронных орбиталей. Предложено объяснение полученных результатов, основанное на анализе процессов генерации и миграции радиационных дефектов.
Ключевые слова
Influence of incidence angle of carbon plasma flow to substrate and subsequent annealing on internal stresses and structure of carbon nanosize coatings obtained by pulsed vacuum arc method
Influence of incidence angle of carbon plasma flow to the substrate on internal stresses arise in the nano-size diamond-like carbon coatings, as well as the dynamics of their changes during subsequent annealing in air was investigated. Established that the increase of incidence angle from 0 to 70° reduces internal stresses of more than 2 times. During annealing of the coatings thickness of less than 100 nm fundamental importance in reducing the internal stress play of the temperature, and not the time thermal effects. The slope angle ofthe plasma flow ofcarbon to the substrate affects the ratio of carbon bonds in the amorphous matrix of coating formed at the expense of sp2- and sp3-hybridization of electronic orbitals. An explanation ofthe results based on an analysis ofthe processes ofgeneration and migration ofradiation defects was proposedKeywords
diamond-like carbon coatings, annealing, internal stress, structure
